V roce 1818 řídila katastrální měření a přípravy pro založení stabilního katastru dvorní komise pro úpravu pozemkové daně ve Vídni. Při této komisi byl hned od počátku zřízen zvláštní měřický odbor se dvěma odděleními, a to pro agendu trigonometrické triangulace a litografického ústavu a pro agendu podrobného měření. V jednotlivých zemích řídily katastrální měření zemské komise pozemkové daně, jimž byly podřízeny krajské komise pozemkové daně.

 

   Rozhodnutím ze dne 2. dubna 1818 byla zřízena Triangulační a kalkulační kancelář ve Vídni, která se zprvu jmenovala Ředitelství triangulační a početní kanceláře. V jednotlivých zemích obstarávali triangulační práce zástupci vídeňského ředitele, takzvaní trigonometři. Obdobně tomu bylo při pracích podrobného měřeni a grafické triangulace, kde byl v každé zemi zemský mapovní ředitel, v kraji pak jeho zástupci mapovní podředitelé, mapovní inspektoři, geometři, adjunkti, diurnisté a ostatní personál. Tehdy byl zřízen i litografický ústav ve Vídni pro tisk katastrálních map.

 

   V r. 1822 byly zřízeny pro zachování operátů katastru daně pozemkové v jednotlivých zemích zemské archivy map.

 

   Po zrušení dvorní komise v roce 1827 převzala její agendu spojená dvorní kancelář, při které bylo zřízeno tzv. centrální vyměřovací ředitelství s výše zmíněnými dvěma odděleními. Agenda zrušených zemských a krajských komisí přešla na zemské úřady.

 

   V roce 1833 byl zřízen pro celou říši centrální archiv katastrálních map. V roce 1848 po zreorganizování státní správy přešla ústřední agenda katastru na Ministerstvo financí, u kterého bylo pro tuto agendu a pro agendu přímých daní zřízeno samostatné správní oddělení. V roce 1849 císařskými patenty z 20. a 31. října byla zrušena samostatnost Uher a nařízeno, aby tam byla vybudována daňová soustava jako v Rakousku, a tudíž také stabilní katastr; byly proto vyhotoveny konkretuální mapy daňového provizoria a zřízeny inspektoráty katastrálního vyměřování. V roce 1850 bylo zřízeno ve Vídni generální ředitelství katastru daně pozemkové, které tvořilo samostatný odbor při Ministerstvu financí. V roce 1864, při novém rozdělení agendy Ministerstva financí, byly záležitosti pozemkového katastru přiděleny tzv. generálnímu ředitelství přímých daní, avšak již v roce 1865 byla agenda katastru přidělena nově zřízenému  odboru pro správní službu. Ani toto přidělení nebylo trvalé a následovalo několik změn. V Budapešti byla zřízena triangulační kancelář v roce 1867 po uskutečnění dualistické ústavy monarchie.

 

   V roce 1869, pro reambulaci pozemkového katastru, byla zřízena v oboru působnosti Ministerstva financí centrální komise pro úpravu pozemkové daně ve Vídni; v zemích pak zemské komise a podkomise a v okresích okresní odhadní komise. Nad katastrálními pracemi v zemi prováděnými měřickými inspektory, geometry, adjunkty a diurnisty měli dohled centrální inspektoři.

 

   Zákonem ze dne 23. května 1883, č. 83 ř. z., o evidenci katastru daně pozemkové (evidenční zákon), byly zřízeny evidence katastru daně pozemkové, jež byly pod správou finančních úřadů II. stolice s vrchním vedením a dohledem Ministerstva financí. Na Slovensku zavedena zák. čl. XXII/1885 evidence katastru daně pozemkové a pro vceňovací práce tzv. lokalizační či vceňovací katastrální inspektoráty. Rok poté byly na Slovensku zřízeny zvláštní reambulační inspektoráty. V roce 1896 proběhla v tehdejších zemích rakouských revize katastru, organizovaná podobně jako reambulace v Čechách..

  

   V roce 1902 byla.zřízena samostatná oddělení pro nová měření obcí a měst a další práce trigonometrické a polygonometrické při zemských finančních úřadech.

  

   Po 1. světové válce byl v již samostatném Československu zřízen Litografický ústav a Triangulační kancelář při Ministerstvu financí v Praze rozhodnutím z 21. listopadu 1919. Litografický ústav byl později přejmenován na Reprodukční ústav Ministerstva financí. Zákonem č.177/1927 Sb. byly roce 1927 evidence katastru daně pozemkové změněny v katastrální měřické úřady.

 

   Vládním nařízením č. 205/1928 Sb. byl roku 1928 zřízen Ústřední archiv pozemkového katastru při Ministerstvu financí; v roce 1942 byla triangulační kancelář přičleněna k zeměměřickému úřadu a podřízena Ministerstvu vnitra. V roce 1946 byla rozšířena působnost některých dalších katastrálních měřických úřadů na výkon prací novoměřických a autentifikačních ve více měřických okresech. Tehdejší katastrální služba byla vybudována a organizována ve třech instancích (§ 1 kat. zák. 177/1927 Sb., vlád. nař. č. 205/1928, č.34/1941 a vyhlášky min. financí č.206/1928 a č.4/1931 Sb.).

 

   V roce 1954 vznikají zeměměřická družstva. V roce 1956 Ústřední správa geodézie a kartografie (ÚSGK), jakožto nejvyšší orgán řízení zeměměřické služby v tehdejší ČSSR. Prvorepublikové katastrální měřické úřady jsou nahrazeny nově vzniklými Střediska geodézie (SG), která fungovala až do roku 1992. S konstitucí evidence nemovitostí zákonem č. 22/1964 Sb. v roce 1964 byla ÚSGK přejmenována na Český úřad geodetický a kartografický (ČÚGK), vzniká též Zeměměřický ústav.

 

   Současná organizace zeměměřické služby vychází ze zákona č. 359/1992 Sb. ve znění pozdějších předpisů.